都屏气凝神，望着参与具体工作的几位同志。
“开始粗对！”
沈永健的声音低沉。
工作台和掩膜版架在步进电机的驱动下开始微动。
很快硅片上的标记与掩膜版上的标记开始重合。
“粗对完成。”
“进入精对！”
随着沈永健有条不紊的指挥，卓邵文紧听其号令，在精调旋钮上以几乎难以察觉的幅度转动。
十几秒的精细调整后，两个标记完美重合！
“对准完成！锁定！”
卓邵文的声音带着一丝不易察觉的颤抖，额角已渗出汗珠。
“设置曝光剂量…启动！”
话音落下的瞬间，高强度的汞灯光源再次提亮，经过复杂的光路系统和那个崭新的高精度物镜，将掩膜版上的精细图形按比例缩小，精确地投影到硅片表面的光刻胶上。
被光线照射区域的光刻胶发生化学反应。
整个曝光过程只有几秒钟，但紫光透过观察窗映在众人脸上，气氛庄严而神圣。
曹文三和曲嵩等人在一旁，下意识地咽了口口水。
“步进！”
第一个区域曝光完成，工作台在精密导轨带动下，精确移动一个芯片的距离，将下一个未曝光的区域移动到镜头下。
对准系统再次快速进行局部微调，然后再次曝光。
如此反复，直到整片硅片的所有芯片区域都完成这一层图形的曝光。
张伟森紧盯着控制屏上的进度条，顾江河则紧张地记录着步骤。
12英寸的晶圆，光是一片步进曝光最终都耗时近一个半小时。
三片晶圆全都完成后，时间早已到了下午一点多。
曝光完成的硅片被吴培书迅速转移至专用的热板上进行短暂加热，以稳定曝光图形。
之后则被其放入显影槽进行显影工作。
一步步的流程之后，最终才进入蚀刻阶段。
一直到晚上六点多，三片晶圆的流片工作才结束。
众人无论是有操作工作的，还是车间内等待的同志，都已经空了一整天肚子。
但这会儿众人非但不累，反而愈发激动与紧张！
随着吴培书将蚀刻后剩余的光刻胶彻底除去，清洗干净后的硅片被送到进口的高倍率显微镜下。
沈永健此刻已等在此处，调整着显微镜的焦距，进行最后的测试工作。
镜头在硅片表面缓慢移动，车间里鸦雀无声，只能听到自己的心跳和呼吸声。
每个人都死死盯着沈永健的背影和他放在目镜上的手。
卓邵文，顾江海与吴培书等人也已退出操作区，等在边上同样大气不敢出，眼神里满是期待和忐忑。
时间一分一秒过去，沈永健看得极其仔细，在几个关键区域反复观察。
由于低着头的缘故，众人虽看不到他表情，但却能看到他眉头不时的微蹙。
这沉默的几分钟对所有人来说都无比煎熬。
尤其是在沈永健紧锁眉头换第二片晶圆时，大家的心也跟着一点点往下沉。
都难得见沈总工这般严肃脸色，难不成是失败了？
直至一刻钟后，在沈永健将最后一片晶圆检查完成，眉头才舒展开来。
在众人的注视下，嘴角微微向上扬起，眼中闪烁着光芒，声音带着一种如释重负的喜悦。
“初次流片一共三片晶圆，第一片部分区域有毁损，算是失败。”
“还好后两片的图形清晰，线条完整，套刻精准，符合流片预期。”
“我宣布‘581-3’集成电路第一次流片…成功！”
第231章 计算器研制
沈永健宣布的同时，自己心中也松了口气。
天知道他看到第一片流片出现区域损毁时心中的压力有多大。
好不容易经过四个多月，再加上前期近两年的准备，一次失败起码又要等待一个月。
且其中消耗的资源和精力，包括对这工作本身的压力只会更大。
还好，后边两片还算争气！
2/3的成功率，于流片而言已算是极为圆满的巨大成功！
事实上，从流片本身验证的性质来说，只要有一片晶圆能够成功，也算是成功！
后续顶多是生产工艺或者部分原料上需要提高，而非集成电路的设计问题。
“呼~！”
低低的呼气声在车间内响起。
紧随其后便是众人高涨的激动情绪！
“成功了！”
“真成功了！？”
丁八一最先呼喊起来，这种在专业前沿领域的突破，作为还在本科阶段学习的亲历者，那种见证历史的感觉让他心中说不出的振奋！
“真一次就成了？”
张伟森同样激动，不过性格相对内敛一些。
目光望着沈永健低声喃喃着，直至沈永健向他再次点头，这才用手掌轻拍着一旁的顾江河。
而卓邵文早已紧随其后站到他的位置，亲自检查着“581-3”的芯片。
“这段时间大家都辛苦了。”
“我宣布明日起大家都休息，时间不定，你们自己的状态调整完毕再回来工作。”
沈永健说罢，便又赶忙看向卓邵文。
“邵文同志，你这两天再辛苦下，跟我总结完二代光刻机还有集成电路的资料再休息吧。”
步进式光刻机，“581-3”初代芯片，都是绝对的国际第一！
相关的技术与工艺资料自然需要总结并保密。
这次参与项目的同志虽然多，但真正知晓项目全貌技术的其实也就他跟卓邵文。
其余如吴姐和周克勤也只是在分工的内容上有一定认知。
至于其他普通的研究人员，其实参与的内容很细，都是完成沈永健布置的任务。
哪怕对集成电路有参与并具备一定认知，但实际的核心工艺同样全然不知，暂时还道不明个所以然。
当晚，沈永健还请了众人去吃了顿涮羊肉庆祝。
直到第二日，车间内安静下来。
卓邵文总结着光刻机的技术档案，沈永健自己则总结着集成电路的生产工艺，包括核心的一些容易犯错的步骤都写得很详细。
卓邵文是从第三天开始休息的。
沈永健虽然总结文档也在差不多时间完成，但他手头的工作却并未停下。
第一个便是关于新一代的晶振以及陀螺仪的控制系统更新。
有了中规模的集成电路芯片，对于核导弹的研究可谓是质的提升。
搭载了芯片的崭新陀螺仪和晶振，足以满足近十年内的导弹更新换代。
当然，真到了那时候，估摸着他早已研制出了大规模乃至超大规模的集成电路。
晶振和陀螺仪控制系统的更新，沈永健是在十月底完成的。
有关这颗芯片的命名，早已由三机部上报院里，得到的批复便是“龙芯一号”，直接以华夏的渊源象征命名。
在钱老项目的设计资料送过去后，沈永健也给自己放了一周的假。
一直到十一月初，沈永健才重新回到厂里，投入崭新的工作。
是他早就设想好的，关于电子计算器的研制。
没错，便是“龙芯一号”的头一项应用实物，也是真正能提升国家基本计算水平的工具。
电子计算器，说白了就是前世早年间各家都会有的老式九键计算器，十分普及。
国内目前的计算，除了顶尖的超级计算机外，就只剩了算盘。
顶多个别科研所有进口的机械式计算器，庞大的机器宛若打字机一般，用起来其实并不比算盘好用到哪儿去。
除此之外，各研究所更多的还是依靠类似“计算班”的同志。
无论如何，皆说明计算对于眼下普通人民群众而言，还是个具有一定门槛的事。
而这电子计算器，尤其是便携式的电子计算器，于国内绝大部分领域都是极好的提升！
哪怕是专业的工程技术人员，在进行研制工作时，也能省下大量的计算时间，用计算器按下等号键得出答案。
从普及计算，加速技术下沉的角度出发，沈永健对于计算器的研制很上心。
经典方方正正的模样，九键数字与基础的加减乘除，平方与开方。
在拥有芯片基础上设计个计算器并无多少难度，仅仅大半天的工夫，沈永健便已经将计算器图纸画得七七八八。
唯一让他暂时还没法定下的，便是计算器的显示屏。
以目前国内的技术，合适的只有真空的荧光显示器，这东西其实与电子管比较相像，他们微电子厂也很容易研制，本身就跟电子管技术同源。
只是这么一来这计算器的体积就大了，所谓的“便携”变得一点都不便携。
思索再三，还是考虑以发光二极管突破LED显示，当然并未后世的那种高标准显示，只是红色LED七段数码管，简单的进行红色荧光数字显示。
当然就算是如此，这也是半导体相关的材料，攻破需要些时间，但却能真正做到“便携”。
也只有计算器真的便携，这东西才能真正被传播和普及。
沈永健思索LED技术时，卓邵文这会儿匆匆踏入车间内，手中拿着一本印刷精良的刊物，径直走到他面前。
“邵文同志…是关于‘龙芯一号’还有什么补充和想法？”
卓邵文自上周起便已回计算机研究所工作，不过芯片毕竟才研制成功。
眼下第二台步进式光刻机还在组建，卓邵文每隔一两天还是会回来厂里，帮着进行研制工作。
只是今天这直奔他来的状态，显然是出了什么事。
“沈工，这是军区惯例订购的国外期刊。”
“王所长今天才从档案室调取，刚看过便让我送来给你。”
“上头…有最新的论文发布，跟咱们上个月研究的内容一样！也是集成电路的研制论文！”
“米国他们也攻克了‘平面工艺’，跟咱们一样也研制出了集成电路。”
第232章 抢先公布？
米国电气与电子工程师学会（AIEE）的权威刊物 《电气工程》。
熟悉的期刊封面风格，沈永健顺着卓邵文的翻动，目光最终望向其所指的论文。
论文是以吉恩·霍尔尼的名义发表，不过实际致谢单位也注明了“仙童半导体”公司。
至于论文的标题与核心都直指集成电路，尤其是公布了其团队是第一个研发出集成电路的。
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